اسپکتروسکوپی الکترون اوژه (AES)

آنالیزها و تجهیزات

نوشته شده توسط:

اسپکتروسکوپی الکترون اوژه (AES) یک روش آنالیز حساس به سطح است. در این روش از یک پرتوی پر انرژی از جنس الکترون به عنوان منبع تهییج استفاده میشود. اتم هایی که توسط این پرتوی پرانرژی بمبارن می شود با خروج یک الکترون “اوژه”، قادر به بازگشت به حالت آسایش خود هستند. انرژی جنبشی الکترون اوژه خروجی مشخص کننده ی نوع عنصر تا عمق ۵ تا ۱۰ نانومتر از سطح نمونه است.

این الکترون میتواند با اسکن سطح نمونه و یا مستقمیاً با تمرکز بر منطقه کوچکی فرایند مشخصه یابی را ممکن سازد. توانایی این ابزار در تابش پرتوی الکترون بر سطحی به عرض ۱۰ تا ۲۰ نانومتر، سبب می شود تا الکتروسکوپی الکترون اوژه تبدیل به یک روش مفید انالیز عنصری جهت مشخصه یابی سطوح کوچک، گردد. با استفاده از یک منبع پرتوی یونی در کنار پرتوی الکترون اصلی، الکترون اوژه قادر به تشخیص پروفایل عمق کامپوزیشنال خواهد بود.

اسپکتروسکوپی الکترون اوژه، روش مناسبی جهت آنالیز ذرات میکرومتری به لحاظ تشخیص منابع آلودگی در فرآوری تجهیزات ویفری و یا آنالیز نقوص در ابزارهای الکترونیکی جهت بررسی عوامل مخرب است. همچنین الکترون اوژه کاربردهای بسیاری در مطالعات متالورژیک همچون تشخیص ضخامت لایه اکسیدی در ابزارهای پزشکی الکتروپولیشی دارد.

تجهیز مرتبط با آزمون موجود در آنابیز دستگاه طیف سنجی الکترون اوژه (AES)

کاربردهای اصلی:

  • آنالیز نقص ها
  • آنالیز ذرات
  • آنالیز سطح
  • پروفایل عمق سطح کوچک
  • ترکیب آنالیز لایه نازک

مشخصات فنی:

  • سیگنال تشخیص داده شده: ( الکترون اوژه از اتم های نزدیک به سطح)
  • تشخیص عنصری: (Li-U)
  • محدوده ی تشخیص : ۰/۱ تا ۱ درصد در تک لایه فرعی
  • رزولوشن عمقی: ۲۰ تا ۲۰۰ آنگستروم (مد پروفایل)
  • تصویربرداری/ نقشه کشی : بله
  • رزولوشن جانبی / اندازه پروب : کوچکتر مساوی ۲/۰ میکرومتر ( منبع LaB6)، کوچکتر مساوی ۷۰ آنگستروم (نشر میدانی)

توانایی:

  • آنالیز سطوح کوچک (حداقل ۳۰ نانومتر)
  • حساسیت سطحی بالا ( عمق اطلاعات ۵ تا ۱۰ نانومتر)
  • رزولوشن عمقی خوب

محدودیت ها:

  • نیاز به استاندارد جهت تشخیص دقیق عناصر
  • عایق سازی بسیار دشوار
  • خلا نمونه ها در بهترین حالت سازگاری
  • حساسیت تشخیص نسبتا ضعیف (۰/۱ درصد در بهترین حالت)

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *