پروفایلومتر اپتیکیOP)optical profiometry)

آنالیزها و تجهیزاتتصویر برداری

نوشته شده توسط:

پروفایلومتر اپتیکیOP)optical profiometry)

آنابیز و آزمون پروفایلومتر اپتیکی (OP) :

«پروفایلومتر» ابزار اندازه گیری پروفایل سطح و ضخامت لایه های مختلف به صورت دو بعدی و سه بعدی در مقیاس نانو، میزان زبری‌ های مجتمع و ویژگی های ابعادی را در اختیار می‌ دهد که برای نخستین بار در ایران تجاری سازی و تولید شد. فناوری ساخت این دستگاه پیش از این در اختیار آلمان، ژاپن و امریکا بوده و جزء اقلام تحریمی به شمار می آمده است.

پروفایلومتر اپتیکی یک روش بر پایه ی تداخل غیر تماسی است که برای مشخصه یابی توپوگرافی سطح استفاده می شود.

نمونه

این دستگاه، دارای یک دوربین به منظور دیدن سطح نمونه در نرم افزار هنگام پروفایلومتری می باشد.با حرکت سوزن (tip) بر روی سطح و اندازه گیری پستی و بلندی می توان ارتفاع پله را اندازه گرفت و ضخامت لایه را تعیین کرد و یا میزان زبری سطح را مشخص نمود

کاربردها

  • مشخصه یابی سایش و wear در قطعات مکانیکی
  • ارزیابی میزان استحکام اتصالات لحیم کاری شده، تراشه های فلاپ و دیگر قطعات اتصالی وابسته ای پیشرفته
  • ایجاد ارتباط میان اندازه گیرهای زبری با خواص مواد، چسبندگی، خوردگی و شکل ظاهری
  • اندازه گیری شعاع انحنای کانال های میکروفلوئیدها، قطعات اپتیکی و ..
  • بررسی خمیدگی ویفرهای فراوری شده / پوشش داده شده، ساخت ممزها
  • محاسبه ضخامت فیلم های SiO2 ممتد ( بدون نیاز به فرایند فیزیکی)
  • آزمایش توان عملکردی بالا در پیچ ها و ویفرها با توانایی های چندگانه
  • ارتفاع سختی ها و اندازه گیری های ابعادی

 توانایی ها

  • نواحی وسیع آنالیزهای ممکن، ویژگی های ارتفاع و زبری ها
  • قابلیت استفاده برای نمونه های بزرگ و کوچک
  • غیر مخرب / غیر تماسی
  • سرعت بالا

محدودیت ها

  • کیفیت تصویر سطوح تخت نظیر نمونه‌هایی که پولیش و اچ متالوگرافی شده‌اند، معمولاً در بزرگنمایی کمتر از ۳۰۰ تا ۴۰۰ برابر به خوبی میکروسکوپ نوری نیست.
  • قدرت تفکیک حکاکی بسیار بهتر از میکروسکوپ نوری است، ولی پایین‌تر از میکروسکوپ الکترونی عبوری و میکروسکوپ الکترونی روبشی است.
  • سازگاری با خلأ معمولا مورد نیاز است.
  • نیاز به سیاه قلم برای ایجاد کنتراست (تضاد).
  • ممکن است SEM نمونه را برای آنالیزهای بعدی از بین ببرد.
  • محدودیت اندازه ممکن است نیاز به برش نمونه داشته باشد.
  • رزولوشن نهایی به شدت تابع نمونه و آماده سازی است.

 

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *