طیف سنجی الکترون بازگشتی رادرفورد ، آنالیز RBS

آنالیزها و تجهیزات

نوشته شده توسط:

طیف سنجی الکترون بازگشتی رادرفورد ، آنالیز RBS ،از آزمون های موجود در آنابیز،یک تکنیکی یون بازگشتی است که برای آنالیز لایه های نازک  کامپوزیتی استفاده می‌شود. مزیت اصلی RBS نسبت به دیگر دستگاه های آنالیز، به نمونه های استاندارد جهت محاسبه کمی نیاز ندارد. در طول فرایند RBS ، یونهای هلیوم He+2  با انرژی بالا (Mev) (ذرات آلفا) مستقیم به نمونه برخورد می‌کند و توزیع انرژی و میزان الکترون بازگشتی یونهای هلیوم He+2 در زاویه مورد نظر اندازه گیری می‌شود. به دلیل اینکه سطح مقطع  هر عنصر شناخته شده است، می‌توان از طیف حاصل از این دستگاه RBS به کمک روش پروفایلومتری عمقی میزان کمی ترکیبات شیمیایی را برای فیلم هایی با ضخامت کمتر از ۱ میکرومتر به دست آورد.

کاربردهای اصلی:

  • ترکیب و ضخامت لایه های نازک
  • مشخص کردن غلظت‌های ناحیه‌ای (اتم بر سانتی متر مکعب)
  • مشخص کردن چگالی فیلم ها (وقتی که ضخامت معلوم باشد.)

مشخصات فنی:

  • سیگنال آشکار سازی شده: اتم های هلیوم الکترون بازگشتی
  • عناصر شناسایی شده: B-U
  • محدوده ی شناسایی: ۰/۰۰۱ تا ۱۰ درصد
  • رزولوشن عمقی: ۵۰ تا ۲۰۰ آنگستروم
  • تصویربرداری / توپوگرافی: خیر
  • رزولوشن جانبی/ سایز پروب : بزرگتر مساوی ۲ میلی متر

توانایی ها:

  • آنالیز عناصر و ترکیبات به شکل غیر مخرب
  • اندازه گیری های کمی بدون نیاز به نمونه استاندارد
  • آنالیز کل ویفر (بیش از ۳۰۰ میلی متر) حتی برای نمونه های غیر منظم و بزرگ
  • آنالیز رساناها و مواد عایق
  • اندازه گیری هیدروژن (در مد HFS)
  • حساسیت برای عنصرهایی با عدد اتمی کوچک (در مد NRN)

محدودیت ها:

  • ناحیه تحلیل بزرگ (تقریبا ۲ میلی متر)
  • محدودیت در اطلاعات مفید برای نمونه های بزرگتر از ۱ میکرومتر

کابردهای صنعتی:

هوا و فضا، صنایع دفاع، نمایشگرها، نیمه رساناها، ارتباط از راه دور

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *